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1、微致动器被用来驱动谐振传感器(如上),以使其在谐振频率下振荡。

2、它们还被用来为某些微系统产生所需的机械输出:这可以是移动微镜以扫描激光束,或将它们从一条光纤切换到另一条;驱动显微外科手术应用中的手术刀;驱动微分析系统或微流体系统中的微泵和阀门;它们甚至可以作为神经辅具应用中的微电极器件来刺激神经组织。

3、 以下各部分将概要介绍产生微致动的各种方法:通过静电、磁、压电、液压和热产生微致动。

4、上述方法中,压电和液压法看起来最具潜力,尽管其它几种也占有一席之地。

5、静电致动以微小差距屈居第三,它可能是最常见的,也是开发得最深入的一种方法,但它由于磨损和粘连问题有些不尽如人意。

6、磁致动器通常需要相对较高的电流(以及高功率),在微观世界里,静电致动法通常可提供更好的单位体积输出(根据应用不同,其极限为1立方厘米到几立方毫米器件范围中的某个值)。

7、热致动器也需要相对大的电能,而且还需对发热进行散热。

8、 对于表面非常光滑的情形,典型的如表面加工器件,一个部件与另一个部件的粘连或冷焊会成为一个问题。

9、这种效应会使摩擦力增加,以致于到需要用器件的所有输出功率来抵消它的程度,而且这会使有些器件根本无法正常工作。

10、通过仔细设计和选材可以解决这种问题;但它们仍然会在许多微电机设计中产生困扰。

11、需要引起注意的另一点是,把器件从湿式蚀刻浴中取出时,液体中的表面张力可能会大到足以将部件粘连在一起。

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