薄膜干涉检查平整度左凹右凸的原因（薄膜干涉检查平整度）

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1、上一块光洁度高的板的下表面与待测面之间的空气层形成薄膜干涉.若待测面光洁度高,在上板观测到的亮线与暗线平行.若待测面有突起,此处对应的光程差小于此点未突起时的光程差,所以这点的光程差与靠近劈尖的尖部某点的光程差相同,所以这点未突起时对应条痕若是亮的,现在就变暗(若原是暗的,现在就变亮),所以这点对应的条痕弯向劈尖厚部.同样分析,可知这点凹陷时,条痕弯向劈尖尖部.疑问：为什么只要考虑空气薄膜界面上发生的反射，上一块光洁度高的板上表面也有反射，他对观察结果没影响吗？标准件的上下表面平行，它们的反射光的相位差处处都相同——它们干涉的结果处处相同，不会有明暗条纹。

2、另外，被测物件一般都不透明，所以就没它的下表面什么事儿了。

3、 标准件的上表面和被测物的上表面产生的条纹间距与标准件的下表面和被测物的上表面产生的条纹间距是完全相同的，且两者的对比度不同，于是条纹的明暗就由其中之一决定。

4、通常只讲后者，我想是为了叙述方便，而且这也不影响原理的说明。

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